该技术采用移相激光干涉原理，以大入射角照射被测曲面，通过对干涉条纹图像的分析处理，得到复杂曲面微米级的形貌误差；实现了对斜齿轮零件表面的微米级测量，处于国内领先水平；目前，该实验及数据处理技术基本成熟，适用于多种齿轮齿面、动静压轴承内表面等多种精美零件表面的测量；该测量方案在理论精度、测量效率等方面均优于现有的接触式测量机，且为非接触测量方法，能够有效避免高精密零件表面测量中可能遭到的划伤问题。